Contents9/13 オンラインへメール。田淵さんとやり取りし、Mazakサービス依頼となった。 9/15 現象確認の為訪問。原因分からず。サービス待ちとした。 9/22調査予定 チャックのグリスアップをしたことがないとのこと。 グリスガンとグリス手配した。 10/3 グリスガンのノズルがスレートの為、グリスアップできず。 フレキシブルノズル手配した。 理研のコレットチャックはマザック特殊品だった為、マザックの見積り提出した。 グリスアップし現象改善した。